TD系列多测力测头系统

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TD系列多测力测头系统

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产品概述

TD系列多测力测头采用行业通用接口设计,精度高、适配性好,可自动更换。


相关参数及技术指标

机型型号
参数类型
模块
测头模块类型DM2
单向重复性(2δ)(μm)
0.35
2D(XY)测量误差(μm)
±0.8
测头模块类型DM3
单向重复性(2δ)(μm)
0.5
2D(XY)测量误差(μm)
1.0
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