全封闭框架结构采用优质硬铝合金，高刚度轻质量，提升运动平稳性与动态精度；Z轴低摩擦气缸平衡重力，可实时调节，保证运动平稳。多重安全防护包括压力监测、延时保护、三重限位及断电保护，大幅提升使用安全性。精密级气源过滤器精度达0.1μm，过滤率99.93%，保障气浮导轨可靠运行。关键部件采用航空铝合金压铸及高温固溶时效处理，确保设备长期稳定性。
精度：2.9+3L/1000起精度与所选测头有关X、Y、Z轴具体尺寸可以根据客户需求定制
产品概述
相关参数及技术指标
参数类型
模块
X/宽
1200-2000
Y/长
1500-5000
Z/高
1000-1500
