全封闭框架结构采用优质硬铝合金，高刚度轻质量，提升运动平稳性与动态精度；Z轴低摩擦气缸平衡重力，可实时调节，保证运动平稳。多重安全防护包括压力监测、延时保护、三重限位及断电保护，大幅提升使用安全性。精密级气源过滤器精度达0.1μm，过滤率99.93%，保障气浮导轨可靠运行。关键部件采用航空铝合金压铸及高温固溶时效处理，确保设备长期稳定性。
主要特点
- 全封闭框架结构，优质硬铝合金材料，高刚度轻质量，提高了机器运动平稳性和动态测量度；
- Z轴采用低摩擦气缸平衡重力技术，可实现随时调节平衡重力，同时提高了Z轴运动平稳性，提高了测量机动态测量精度；
- 机器采用多重防护措施，如:Z轴平衡气缸压力实时监测保护、开机空气轴承延时通气保护、空气轴承工作压力实时检测、软限位、 电气限位、硬限位三重保护功能、长时间无人操作断电保护等多项保护功能，大大提高了设备的使用安全性；
- 配置了精密级气源过滤器，对油、水过滤精度可达0.1μm，过滤率达99.93%，保证了气浮导轨安全可靠运行；
- 测量机关键部件采用航空铝合金压铸成型，经高温固溶加自然时效处理，保证了设备的长期稳定性。
